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德国耶拿Friedrich-Schiller大学教授Frank Wyrowski承担的“中国科学院外国专家特聘研究员”项目通过同行评议

发布时间: 2014-03-04 14:19:53   作者:本站编辑   来源: siom   浏览次数:

  2月27日,上海光机所信息光学与光电技术实验室组织专家对德国耶拿Friedrich-Schiller大学教授Frank Wyrowski承担的“中国科学院外国专家特聘研究员”项目进行了同行评议。与会专家听取了Frank Wyrowski教授对合作项目的进展报告,经过讨论,一致认为:Frank Wyrowski教授在上海光机所的两个月期间,结合基于场追迹的光学仿真软件VirtualLab,对光刻机照明系统关键元件的设计与系统仿真工作起到了重要的推动作用。评议专家组认为该项目组已完成了预期研究内容,达到了预期研究目标. 

  在Frank Wyrowski教授的指导下,项目组确定了照明系统的仿真目标和基本模型,提出了介于光线追迹和场追迹之间的混合仿真方法;研究了提高衍射光学元件效率的设计方法,通过降低信噪比使效率提高约3%。面向相关技术人员,Frank Wyrowski教授举办了以“场追迹技术和应用”为主题的4次系列学术报告。该项目促进了双方的学术交流,为双方深化合作研究奠定了坚实的基础。(张方 供稿) 

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