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美国Georgia Institute of Technology教授Thomas K Gaylord来所进行学术交流

发布时间: 2014-09-23 13:47:18   作者:本站编辑   来源: siom   浏览次数:

  9月8日上午,美国Georgia Institute of Technology教授Thomas K Gaylord 到上海光机所进行学术交流。Thomas K Gaylord教授是严格耦合波算法(RCWA)的提出者,该算法目前已成为光栅严格矢量计算中使用最普遍的工具。Thomas K Gaylord教授在溢智厅作了关于多光束干涉光刻的报告,全所科研人员共20余人参加了本次报告会。信息光学与光电技术实验室副主任周常河研究员主持了会议。 

  在报告中,他首先介绍了多光束干涉光刻的基本原理和技术实现,以及利用该方法所可以制作的微纳周期性结构,并指出该方法的优点和缺陷;随后,又具体报告了图案集成干涉光刻的原理,并详细介绍了他们实验室在图案集成干涉光刻领域的最新进展。报告结束后,与会人员与Thomas K Gaylord教授深入地讨论了多光束干涉光刻的技术实现和应用等相关问题,报告现场学术气氛浓厚。 

  下午,Thomas K Gaylord教授参观了空间激光信息技术研究中心和高功率激光物理联合实验室,并重点参观了信息光学与光电技术实验室,与相关的研究人员进行了细致地交流和讨论。Thomas K Gaylord教授对上海光机所周常河研究员衍射光栅研发工作很感兴趣,认为其中的激光直写工程化系统非常先进,处于领先地位,并对大尺寸光栅制造所取得的成就表示祝贺。(信息光学与光电技术实验室供稿)。

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